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一种等离激元光学增强芯片系统技术方案
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文档序号:32083787
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本实用新型提供一种等离激元光学增强芯片系统,该系统包括纳米孔芯片、集成光学芯片及图像传感器芯片,纳米孔芯片中设有至少一反应单元,反应单元包括在水平方向上间隔设置的激发光耦合光栅及微腔,微腔底面设有纳米开口;集成光学芯片包括至少一光学单元,用...
该专利属于上海近观科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海近观科技有限责任公司授权不得商用。
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