下载薄膜晶体管阵列及其驱动电路的制造方法的技术资料

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一种薄膜晶体管阵列及其驱动电路的制造方法主要包括提供一基板、定义多晶硅层与N+薄膜以形成多个岛状结构、于部份岛状结构上定义出P+掺杂区域、定义源极/汲极与储存电容器的下电极、N+薄膜回蚀、定义闸极及储存电容器的上电极、定义保护层的图案以及定...
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