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铁电内存胞元之制造方法技术
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文档序号:3208316
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一种铁电内存胞元之制造方法,其首先决定连结层之氧化速率,以及,利用连结层之氧化速率,将连结层材料(举例来说,钛金属)之氧扩散系数决定为温度之函数。接着,决定钛硅铱(TiSiIr)层由钛层形成之速率,以及,利用钛硅铱(TiSiIr)之形成速率...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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