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一种在真空环境内对基片进行曝光的曝光装置，其特征是包含以下部件：　　　　真空室；　　　　设置在上述真空室内的曝光结构体；和　　　　用于支承上述曝光结构体，具有设置在上述真空室内的金属波纹管的除振机构。...
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