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半导体器件的制造方法以及半导体器件技术
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文档序号:3208232
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一种半导体器件的制造方法以及半导体器件,所述制造方法包括:在半导体衬底上形成第一绝缘膜的工序;除去第一绝缘膜的一部分的工序;在半导体衬底上的除去第一绝缘膜的一部分的区域中形成比第一绝缘膜的漏电流密度还高的第二绝缘膜的工序;在第一绝缘膜和第二...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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