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金属元件、半导体器件、电子器件和电子设备及其制法制造技术
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文档序号:3208230
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一种金属元件的形成方法,其包括:在基底的处理表面上形成种子层的种子层形成步骤和在种子层上形成镀层的镀层形成步骤,其中,在种子层形成步骤中,在处理表面上形成排斥液体材料的抗液部分,用液相法在抗液部分外的区域中形成种子层。...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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