下载激光能量自动控制系统与方法的技术资料

文档序号:3208163

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本发明公开一种激光能量自动控制系统与方法。该方法包括:首先,提供一衬底。接着,测量衬底的氢含量值。然后,评估氢含量值是否小于一氢含量临界值。若氢含量大于氢含量临界值,则发出一警示信号。若氢含量不大于氢含量临界值,则测量衬底的厚度值。另外,建...
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