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强介电存储器及其制造方法技术
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文档序号:3208158
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提供一种能高度集成化的强介电存储器。本发明的强介电存储器(1000)包括片状器件(100),而片状器件(100)具有包含强介电电容器(20)的存储单元阵列(102),和包含在存储单元阵列(102)上方形成的薄膜晶体管的电路部分(104)。...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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