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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3208136
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本发明的目的是采用一种简单的工艺来提供MOS型晶体管,其中高浓度结可以被非常浅且稳定地形成,以避免由于生产中的差异所造成的构成漏/源区域的高浓度区域延伸超过接触孔,而这是采用传统的具有LDD结构的MOS型晶体管所无法达到的。本发明具有如下特...
该专利属于精工电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精工电子有限公司授权不得商用。
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