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半导体器件制造技术
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文档序号:3208132
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一种半导体器件,包括: 半导体芯片,带有电路形成部分,包括依次层叠在半导体衬底上的多层布线绝缘膜和形成于所述多层布线绝缘膜内的多层互连; 其中,一个或多个布线槽在每层所述多层布线绝缘膜内沿所述半导体芯片外围,以包围所述电路形成部...
该专利属于恩益禧电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩益禧电子股份有限公司授权不得商用。
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