下载半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3208130

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一种在半导体衬底上带有键合焊盘的半导体器件包括:形成在键合焊盘的下表面上的上层铜层,它们中间插有势垒金属,并且其具有大于在其里面形成电路互连的层的铜面积比;以及与上层铜层电绝缘的下层铜层,并且其形成为比上层互连更靠近半导体衬底。...
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