温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开一种适合给图案重复曝光的小型且低成本的投影曝光装置。投影曝光装置具有：把光照射到具有多列掩模图案的掩模，用于给曝光图案列重复曝光的照明系统、把所述掩模来的光投射到所述被曝光部件上的投影系统、移动所述被曝光部件的曝光工作台、以及移动所述掩...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。