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微流模块制造技术
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文档序号:3208079
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本发明涉及一种微流模块,使用微流体流通道阻障层,并在其中装设致动元件、流体喷射腔体以及复数个具有渐缩几何形状的流体输出通道与流体进入通道,利用致动元件例如加热器将工作流体加热而产生热气泡,并借助产生热气泡的瞬间高压将工作流体喷射至外界,同时...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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