下载消除晶片及芯片上金属凸块的高度差异的方法的技术资料

文档序号:3208077

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利用加压的方式或者结合研磨的方法,可一次消除整片晶圆及晶粒上所有金属凸块间的高度差异,使所有金属凸块都具有实质上相同的高度。...
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