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高电子迁移率晶体管器件和半导体器件制造技术
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文档序号:32080623
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本公开的各实施例涉及高电子迁移率晶体管器件和半导体器件。高电子迁移率晶体管器件,包括:异质结构;在异质结构上的电介质层;以及栅极电极,完全延伸穿过电介质层,栅极电极包括:第一栅极金属层,被配置为与异质结构形成肖特基接触;第二栅极金属层,在第...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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