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本发明将降低阳极化反应产生的气体的影响。要处理的硅基体（１０１）被水平夹住。负电极（１２９）被布置在硅基体（１０１）的上方，并使正电极（１１４）与硅基体（１０１）的下表面接触。用ＨＦ溶液（１３２）充填负电极（１２９）和硅基体（１０１）之间的...
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