下载碳化硅肖特基势垒二极管及其制作方法的技术资料

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公开了一种肖特基势垒二极管及其制造过程。这种过程在碳化硅晶片上的掩蔽区域中形成一金属接触图案。一个优选实施例包括一个在掩模的窗口中蚀刻的绝缘层。一个惰性边缘末端在氧化层下方邻近金属接触部分的位置处注入晶片中以便改进可靠性。还可以加入另一个氧...
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