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本实用新型涉及晶元生产技术领域，尤其是一种多晶元减薄工艺处理系统，包括机架、多轴研磨机器人和研磨工位，机架内固定有调节电机，调节电机的输出端固定有调节环，研磨工位包括第一工件座、第二工件座和第三工件座，第一工件座、第二工件座和第三工件座的外...
该专利属于河北光森电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北光森电子科技有限公司授权不得商用。

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