温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

用于抛光晶片（３１）上制作的金属层的电抛光装置包括电解液（３４）、抛光槽（１００）、晶片吸盘（２９）、流体入口（５，７，９）和至少一个阴极（１，２，３）。晶片吸盘（２９）吸住晶片（３１）并将其置于抛光槽（１００）内。电解液（３４）通过流体入...
该专利属于ACM研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过ACM研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。