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一种非对称栅场效应晶体管制造技术
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下载一种非对称栅场效应晶体管的技术资料
文档序号:3207905
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本发明公开了一种非对称栅场效应晶体管,目的是提供一种非对称栅场效应晶体管,它可以形成很好的沟道电场分布和电子速度分布,抑制器件的短沟效应、同时提高沟道内载流子的速度,提高器件的驱动电流、跨导及截止频率,且利于小尺寸器件的制作。本发明的技术方...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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