下载形成动态准中性束方式减少各种粒子束与目标物作用时的电子激发能损的方法的技术资料

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一种形成动态准中性束(dynamic quasi-neutral particle beam)方式减少电子激发能损的方法,其是当一粒子束施加于一目标物的一选定作用区域时,外加一辅助辐射束于该作用区域,且该辅助辐射束近乎平行于粒子束。由于该外...
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