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本实用新型涉及气体喷淋头技术领域,具体为一种WCVD半导体设备的气体喷淋头,包括喷头、第一缓冲腔、限流框和导气管,所述喷头内部的顶端设置有第一缓冲腔,且第一缓冲腔的底端设置有第一气孔,所述喷头顶端的中间位置固定连接有限流框,且限流框的一侧固...该专利属于赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及气体喷淋头技术领域,具体为一种WCVD半导体设备的气体喷淋头,包括喷头、第一缓冲腔、限流框和导气管,所述喷头内部的顶端设置有第一缓冲腔,且第一缓冲腔的底端设置有第一气孔,所述喷头顶端的中间位置固定连接有限流框,且限流框的一侧固...