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一种低电阻、具有可靠性优良的电极结构的氮化物半导体元件，在半导体层上，具有欧姆接触的第１电极及连接在其上面的、由不同于第１电极的形状构成的第２电极，其特征在于：第１电极和上述第２电极具有由形成第１电极表面的第１电极的上层和沉积在热处理后的第...
该专利属于日亚化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日亚化学工业株式会社授权不得商用。

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