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一种低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法，在一绝缘基板上形成欲作为Ｎ－ＴＦＴ和Ｐ－ＴＦＴ的多晶硅岛状物；依序沉积一栅极绝缘层和一栅极金属层；图案化栅极金属层以形成Ｎ－ＴＦＴ的栅极金属和Ｐ－ＴＦＴ的栅极金属罩；对多晶硅岛状物进行Ｎ－离子植入步骤，形...
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