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本发明涉及一种化学机械抛光浆液，其包含抛光微粒、作为氧化剂的硝酸铵，作为铜金属膜抛光促进剂的１，２，４－三唑和水，并且其ｐＨ为３至４。该抛光浆液适宜于形成波纹状的包含钽基金属作为阻挡层金属膜材料的铜基金属互连。...
该专利属于恩益禧电子股份有限公司;东京磁气印刷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过恩益禧电子股份有限公司;东京磁气印刷株式会社授权不得商用。

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