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提供了一种具有高纵横比的金属微结构的制造方法，其中包括在基底上用光刻法产生沟槽。在上述沟槽的内表面形成聚合物链。这样，光刻工艺中的关键尺寸可被降至零以上的任何尺寸。此方法的应用十分广泛，可用于包括由光刻法来确定关键尺寸的任何工艺。它可直接应...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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