下载铈类研磨材料及研磨材料浆液和铈类研磨材料的制造方法的技术资料

文档序号:3207699

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本发明是以氧化铈为主成分的铈类研磨材料,它具有如下特征:构成研磨材料的研磨材料粒子由含有硅或硅化合物构成的硅成分和铝或铝化合物构成的铝成分中的至少一种的覆盖层覆盖。该铈类研磨材料,是将铈类研磨材料湿式分散于分散介质中,制成浆液,在该浆液中添...
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