下载脆性材料基板的划线装置和脆性材料基板的划线方法的技术资料

文档序号:3207634

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本发明提供一种脆性材料基板的划线装置。其中,以沿着脆性材料基板的划痕预定线方向具有多个强度分布峰值的方式,形成多个激光光斑,按照形成暗裂纹的脆性材料基板的种类,设定多个激光光斑间的间隔及激光光斑的强度分布的峰值的间隔。...
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