下载液晶显示器的制造方法的技术资料

文档序号:3207586

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一种制造液晶显示器的方法:首先,依序形成一无掺杂硅层、n型硅层及一金属层于基板上;图案化以定义n型TFT及像素TFT的源极/汲极及储存电容底部电极;全面形成一闸极氧化层及一闸极金属层;图案化以形成n型TFT的闸极、p型TFT的闸极、电源电极...
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