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低温多晶矽薄膜电晶体液晶显示器的制造方法技术
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文档序号:3207580
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一种低温多晶矽薄膜电晶体液晶显示器的制造方法,首先依序形成缓冲层、第一金属层于基板上。接着使用一第一光罩对第一金属层进行微影蚀刻程序,以定义出闸极结构。再依序形成绝缘层、半导体层于基板上。接着对半导体层进行离子布值程序。紧接着,形成第二金属...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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