下载陶瓷膜的制造方法及用于该方法的加压型热处理装置的技术资料

文档序号:3207556

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一种陶瓷膜的制造方法,包括:准备在基体上涂布了含有复合氧化物的原材料体的被处理体的工序;以及将被处理体保持在容器内,通过在加压到2个大气压或1个大气压以上并且至少含有氧化性气体的处理气体中,在规定的压力下进行热处理,使原材料体结晶化的工序,...
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