温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种在用于ＲＲＡＭ装置的铱基材上涂敷ＰＣＭＯ薄膜的方法，包括：制备基材；在基材上沉积阻挡层；在阻挡层上沉积铱层；在铱层上旋涂ＰＣＭＯ层；以三步烘焙方法烘焙ＰＣＭＯ层和基材；在ＲＴＰ室中后烘退火该基材和ＰＣＭＯ层；重复所述的旋涂、烘焙和退火步...
该专利属于夏普株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过夏普株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。