温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
使用常规的半导体工艺，提供一种可以形成多孔膜的涂布液，所述的多孔膜具有要求可控的厚度和优良的介电和力学性质。特别是，提供一种形成多孔膜的组合物，所述的组合物包括缩合产物和有机溶剂，其中在碱性催化剂存在下通过一种或多种由通式（１）：Ｒ↓［ｋ］...该专利属于信越化学工业株式会社;松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社;松下电器产业株式会社授权不得商用。