下载平板显示器中使用的薄膜晶体管的新颖导电元件的技术资料

文档序号:3207528

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一种用于薄膜晶体管的电极的新颖的设计。该新颖的设计使得即使在进行热处理工艺之后,在源极和漏极之间仍形成正常的导电沟道,以及一种包括该薄膜晶体管的平板显示器。该薄膜晶体管包括了源极、漏极、栅极和半导体层,其中源极、漏极和栅极中的至少一个包含了...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。

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