下载互补型金属氧化物半导体图像传感器的制造方法的技术资料

文档序号:3207515

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种互补型金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器的制造方法,其中一微p阱稳定地形成在一像素区域中,以适应大规模集成的趋势。该方法包括如下步骤:准备具有周围区域和像素区域的基片;通过使用具有第一厚度的第一光致抗蚀剂来实施第一离子植入...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。