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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3207512
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本发明披露了一种能够防止发生结泄漏的半导体装置及其制造方法,其特征在于包括:注入了一种导电型杂质的半导体区(103);在所述半导体区(103)上形成的栅极绝缘膜(105);在所述栅极绝缘膜(105)上形成的栅电极(106);以第一注入量在所...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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