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一种用于向一工件发生紫外线光线的紫外线照射装置。例如为一半导体晶片的工件通过施加在晶片背侧表面上的一紫外线敏感胶带而由一环形框架来保持。该装置包括一紫外线照射部分，该部分具有设置在支承座下方位置中的一调节件。该调节件用来限制晶片的向下移位。...
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