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平板显示器中使用的薄膜晶体管所用的新颖导电材料制造技术
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下载平板显示器中使用的薄膜晶体管所用的新颖导电材料的技术资料
文档序号:3207490
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提供一种用于TFT显示器中导电元件的结构。该结构是基于铝的并且经过热处理。热处理后,由于存在钛层而不会形成小丘。此外,由于在铝与钛层之间存在TiN扩散层而不形成TiAl↓[3]。这种新颖结构具有低电阻率,因此适用于采用薄膜晶体管来驱动像素的...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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