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文档序号:3207412

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一种半导体装置,倾斜SiGe-HDTMOS的半导体层(30),由上部Si膜(12)、Si缓冲层(13)、Si↓[1-x]Ge↓[x]膜(14)以及Si罩层(15)所构成。在半导体层(30)中的源区域(20a)和漏区域(20b)之间的区域设置...
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