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提供热处理温度的收敛快并且在宽泛的处理温度范围温度稳定性高的热处理装置。热处理装置，具有对收容的被处理体进行热处理的处理室、沿处理室外面形成的流体通道、设置在流体通道中的前述热处理用的加热机构、使流体接触加热机构的加热面地通过流体通道的流体...
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