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炭化硅半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3207406
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本发明公开了一种炭化硅半导体器件及其制造方法,在使用炭化硅的半导体器件中,通过提高电极与层间绝缘膜之间的贴紧性来提高可靠性。在本发明的半导体器件中设置有:炭化硅衬底1、n型的高电阻层2、设置在高电阻层2的表面一层的阱区域3、设置在阱区域3内...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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