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提供一种实现了小型、高驱动能力、高可靠性、低成本和高成品率的立式ＭＯＳ晶体管及其制造方法。直到沟槽的中途埋置多晶硅栅极，并在其上埋入中间绝缘膜。通过刻蚀中间绝缘膜，不通过接触孔以自对准方式直接形成金属。由于没有对准偏差等的布图边缘，因此可以...
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