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文档序号:3207276

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一种半导体装置,包括:具有在其中形成的通孔的半导体衬底,在该通孔内形成的第一绝缘膜,以及在通孔内的第一绝缘膜的内侧上形成的电极。在半导体衬底的背面侧的第一绝缘膜伸出背面之外,并且电极伸出半导体衬底的有源面侧和背面侧之外。在有源面侧的突出部分...
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