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本发明提供一种灰色调掩模的缺陷检查方法，该灰色调掩模在薄膜晶体管基板的制造工序中使用，并具有遮光部（１１ａ、１１ｂ）、透光部（１２）和灰色调部（１３），其特征在于，上述方法包括把具有超过规定容许范围的缺陷水平的黑缺陷和／或白缺陷的掩模作为不...
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