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金属氧化物半导体场效应晶体管制造技术
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文档序号:3207166
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一种金属氧化物半导体场效应晶体管,在实际动作区域周围设置的护圈上未设置电极的部分,在护圈近旁引起电荷集中,而图案不均匀。本发明的金属氧化物半导体场效应晶体管包括:实际动作区域5,其排列多个MOS晶体管的单元6;源极电极7,其被设置在该实际动...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。
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