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清洗电子元件或其制造设备的元件的方法和装置制造方法及图纸
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文档序号:3207140
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用清洗溶液来清洗电子元件构件或类似零件,如硅晶片等。清洗溶液是将氢气或臭氧溶进高纯水中制备成具有负的或正的氧化-还原电位。这种清洗溶液对于电子元件具有显著改善的洗净性能。此外,调节清洗溶液的pH值,可对电子元件进行更高效率的清洗。...
该专利属于奥加诺株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过奥加诺株式会社授权不得商用。
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