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一种排出喷嘴式涂布法用正型光致抗蚀剂组合物，是用于具有通过使排出喷嘴和基板进行相对移动而在基板的整个涂布面上涂布正型光致抗蚀剂组合物的工序的排出喷嘴式涂布法的正型光致抗蚀剂组合物，其中含有（Ａ）聚苯乙烯换算重均分子量（Ｍｗ）在６０００以上的...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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