下载制作薄膜晶体管液晶显示器的方法的技术资料

文档序号:3207053

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及制作薄膜晶体管液晶显示器的方法,其中,在一优选实施例中,先在一基底的一栅极上依序形成一栅极绝缘层、一非晶硅层与一金属层,再在该金属层上形成一第一光阻层与一包含有一开口的第二光阻层。接着进行两次蚀刻制程,以形成一源极与一漏极。最后形...
该专利属于广辉电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广辉电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。