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制作薄膜晶体管液晶显示器的方法技术
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文档序号:3207053
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本发明涉及制作薄膜晶体管液晶显示器的方法,其中,在一优选实施例中,先在一基底的一栅极上依序形成一栅极绝缘层、一非晶硅层与一金属层,再在该金属层上形成一第一光阻层与一包含有一开口的第二光阻层。接着进行两次蚀刻制程,以形成一源极与一漏极。最后形...
该专利属于广辉电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广辉电子股份有限公司授权不得商用。
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