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本发明提供一种灰色调掩模的判定（检查，保证）和校正方法。该灰色调掩模具有：灰色调部，是对透过量进行了调整的区域，其目的是通过减少透过该区域的光的透过量而选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚；遮光部和透光部，其特征在于，具有：（１）生成上述灰色调部的...
该专利属于HOYA株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA株式会社授权不得商用。

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