下载快闪存储单元及其制造方法的技术资料

文档序号:3207032

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一种快闪存储单元,此快闪存储单元至少是由基底、穿隧氧化层、浮置闸极、绝缘层、控制闸极与闸间介电层所构成。穿隧氧化层设置于基底上。浮置闸极设置于穿隧氧化层上,且浮置闸极是由设置于穿隧氧化层上的第一导体层与设置于第一导体层上的第二导体层所构成,...
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